硅基热光、电光、全光开关及其阵列的研究进展

作者：李显尧; 俞育德; 余金中光开关硅光子学绝缘层上的硅光子集成

摘要：光开关在实现高速信息互连中扮演着重要的角色，受到人们的广泛关注。随着器件结构的不断创新以及半导体加工技术的不断改进，光开关的发展趋向于低功耗、高速和易集成等特点。文章介绍了功耗仅为540gW的热光开关，响应时间为4ns的电光开关和响应时间为25ps的全光开关，重点分析了这三种开关中存在的问题，并提出了解决方法，同时还探讨了开关在阵列化时应考虑的主要问题。

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