作者：邱晨光; 徐慧龙; 张志勇; 彭练矛石墨烯量子电容顶栅场效应晶体管纵向缩减y2o3
摘要：量子电容在半导体纳米材料和器件中是一个日趋重要的参数，测量和提取石墨烯的量子电容，不仅可以得到石墨烯的重要物理性质，而且对石墨烯晶体管的尺寸缩减行为具有重要指导意义．文章中采用简单工艺在石墨烯上制备出均匀超薄的高质量Y2O3栅介质，其等效栅氧厚度（EOT）可缩减至1．5nm，通过控制栅介质厚度的变化，精确测量并提取了石墨烯量子电容，其电容值在远离狄拉克点时与理论计算相符合；在此基础上，文章作者提出了基于电势涨落的量子电容微观模型，通过采用单一参数——电势涨落8V，可以定量地描述Dirac点附近的量子电容行为，从而在全能量范围内实现对石墨烯量子电容测量值的完美拟合，并得到了石墨烯的相关重要参数．进而，作者从量子电容的角度，探索了石墨烯晶体管的性能极限，并比较其相对于Ⅲ-Ⅴ族场效应晶体管的潜在优势．
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