作者：周建青; 周永宁; 吴子景; 卢茜; 吴晓京材料科学zno薄膜脉冲激光沉积si衬底杂质元素s
摘要：使用脉冲激光沉积（pulsed laser deposition,PLD）技术,采用两种不同纯度（99.5%和99.99%）的ZnO靶材,在p型Si衬底上制备了两种ZnO/Si薄膜.原子力显微镜与X射线衍射分析表明,两种样品具有相似的显微形貌与相同的晶体结构.霍尔效应测试发现,两种ZnO/Si薄膜都展现出了低电阻率、高迁移率的电学性能,但是其导电类型完全相反.研究结果表明,衬底的性能对霍尔效应测试有巨大影响.利用二次离子质谱仪,发现了在低纯度的样品中存在着S杂质向Si衬底中扩散的现象,并直接导致了衬底的导电性能的反型.
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