准分子激光器结构紧凑经济型卓越使用寿命能量稳定性全金属结构脉冲发生器空气冷却外形尺寸
摘要：Coherent（相干）公司生产的最新推出一款结构紧凑、性能卓越并具有超长使用寿命的经济型ExciStar XS准分子激光器．特别是空气冷却的ExciStar XS激光器，外形尺寸仅为649×300×400mm，却能在重复频率高达500Hz，波长为193nm时，输出脉冲能量高达10mJ，能量稳定性小于2％（hy）．Almeta XS全金属结构，corona预电离，全固体脉冲发生器以及静电尘去除技术的使用，确保了激光腔的寿命高达500百万个脉冲数，腔镜的寿命高达100百万个脉冲数．
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