微纳加工技术在光电子领域的应用

作者：韩伟华; 樊中朝; 杨富华纳米光电子器件电子束光刻电感耦合等离子体刻蚀量子点器件光子晶体

摘要：纳米光电子器件正在成为下一代光电子器件的核心。文章介绍了电子束光刻和电感耦合等离子体刻蚀为代表的徽纳加工技术在光电子学器件中的应用。主要包括量子点激光器、量子点THz探测器和光子晶体器件。

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