作者：王阳元; 黄如; 刘晓彦; 张兴微电子技术等比例缩小系统芯片纳电子学微机电系统
摘要：微电子产业是国民经济与国防建设的战略性基础产业.对此,我国经历了发展时期的奋斗,现正处于微电子产业迅速崛起的前夕,预计经过10-15年左右时间的努力,将把我国建设成为微电子产业和科学技术的强国.文章着重介绍了21世纪微电子产业的发展需求,面向这个需求,讨论了21世纪微电子科学技术的主要发展方向.认为:一方面,特征尺寸将继续等比例缩小(scaling down),包括新结构、新工艺、新材料的器件设计与制备技术以及光刻技术、互连技术将迅速发展;基于特征尺寸继续等比例缩小,系统芯片(SOC)将取代目前的集成电路(IC)最终成为主流产品;另一方面,纳电子学也将得到突破性进展,量子器件、分子电子器件等的相关研究日益活跃,期望最终达到可集成的目标;此外,微电子技术与其他领域相结合诞生出的新的技术增长点和新的学科--微机电系统(MEMS)技术等也将继续快速发展.文章阐述了相关发展方向存在的挑战和可能的解决方案,对可能进一步开展的具有重要学术意义和应用价值的研究工作进行了探讨.
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