作者:张兰月; 朱明露; 陆建伟; 黄晨晨; 李英旭硅片废砂浆聚集结块ph平衡点
摘要:硅片切割废砂浆很容易发生团聚,对在线回收砂浆质量以及硅片切割效果和硅片清洗均有不良的影响。通过探讨废砂浆中大颗粒的形成过程及条件,揭示砂浆团聚的主要原因;同时发现,调控废砂浆不同初始pH,其pH最终都会趋于一个定值,即为废砂浆pH平衡点。通过调节废砂浆pH使其小于平衡点,可以有效抑制砂浆聚集结块。
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《无机盐工业》(CN:12-1069/TQ)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《无机盐工业》致力于宣传、报道本行业取得的最新技术成就,大力推广新技术、新设备、新工艺、新产品、新用途等方面的科研成果;交流各种科技、生产、市场信息;介绍世界各国无机盐工业的技术水平和发展动态,忠诚地为修养进我国无机盐工业的技术进步和生产发展服务。
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