作者：贺行洋 苏英光学石英玻璃加工表面微观形貌损伤层厚度
摘要：光学石英玻璃是光学精密器件的常用材料,其表面加工质量直接决定光学器件性能。借助光学显微镜和AFM,研究光学石英玻璃加工后表面微观形貌与损伤层厚度,探索表面缺陷与亚表层损伤形成机理。结果表明,切片表面损伤最严重,损伤最大深度近50μm;粗磨表面次之,损伤最大深度近30μm;精磨后表面粗糙度与损伤层厚度皆大大降低;粗抛样表面存在少量划痕与破点;精抛样在显微镜下观察不到表面缺陷,损伤层厚度小于1μm。古典抛光表面粗糙度小、光洁度优于CMP表面,但CMP表面产生划痕或破点的几率远小于古典抛光。
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