作者：王升高; 汪建华; 马志斌; 王传新; 满卫东纳米碳管微波等离子体化学气相沉积法管结构腔体压力
摘要：在镍催化剂的催化作用下,利用微波等离子体化学气相沉积法合成了纳米碳管,分析了不同腔体压力对所合成的碳材料结构的影响.研究表明,当腔体压力增大时,基片温度上升,有利于纳米碳管管状结构的形成,提高纳米碳管的石墨化程度.
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