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硅微电子工业的发展限制及对策

作者:刘忠立硅微电子学微电子器件工艺限制辐射加固

摘要:简要介绍了硅微电子工业的发展状态、限制及对策。为了保持硅微电子工业的继续发展,主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理。在此基础上,介绍了新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑。

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微电子学

《微电子学》(CN:50-1090/TN)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《微电子学》报道内容有关微电子学基础理论,微电子器件与电路,集成电路,半导体工艺和制造技术,集成电路封装技术,多芯片组件技术,集成电路可靠性技术,片上系统,集成系统等领域的研究论文、技术报告、综合评述、产品应用等内容。

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