作者：王晓冬 吉元 李志国 夏洋 刘丹敏 肖卫强cu互连线大马士革镶嵌结构凹槽晶体学取向
摘要：通过TEM、SEM、XRD和EBSD，观察了Cu互连线和平坦Cu膜的微观结构。采用薄膜应力测试分布仪和二维面探测器XRD，测量了平坦Cu膜和Cu互连线的应力，计算了Cu薄膜热应力的理论值。凹槽侧壁成为互连线新的形核区域，并且在平行于侧壁的方向形成较弱的（111）织构。与平坦膜相比，互连线晶粒尺寸明显变小、（111）织构较弱，且存在大量∑3和∑9晶界。平坦膜和互连线分别表现出压应力和张应力。降温过程产生的热应力为互连线的主要应力。
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