作者：何开全 王志宽 钟怡半导体工艺双极互补双极cmosvdmosbicmossoi
摘要：回顾了中电科技集团公司第二十四研究所自建所以来的半导体集成电路工艺发展历程。晶圆尺寸从1．5吋（40mm）到6吋（150mm），特征线宽从10μm到0．5μm，器件特征频率从低频到射频，工作电压从5V到800V，包括射频和高压大功率的各种器件。从研制成功全国第一块大规模集成电路至今，二十四所作为全国唯一的模拟集成电路专业研究所，在各个领域均取得了突出的成就，见证了中国半导体集成电路事业的发展历程。最后，展望了二十四所模拟及专用集成电路工艺技术的发展前景。
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