作者：马立; 曾佑轩; 蒋晨阳; 王坤尺蠖压电驱动器迟滞非线性preisach模型pid控制
摘要：设计了一种基于柔性放大原理的尺蠖压电驱动器，驱动器动子钳位部分采用对称式杠杆放大结构，中间驱动部分采用复合桥式结构。根据尺蠖压电驱动器迟滞非线性特点，在模型分析基础上，建立Preisach模型，确定逆Preisach迟滞模型的开环控制方法，并采用前馈HD方法实现闭环控制。搭建了尺蠖压电驱动器的开环实验系统，实验结果显示：尺蠖压电驱动器在开环控制下位移跟踪最大误差为2．9μm；当跟踪位移为80μm连续运动20个步距时，正反向行程的平均误差为2．1μm；当驱动电压为5V时，获得最小步距1．5μm。同时，搭建了尺蠖压电驱动器的闭环实验系统，在该系统上进行前馈PID控制实验，闭环控制条件下，系统位移跟踪的最大误差为1．4μm，驱动器的定位精度得到提高。
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