作者：谢贵久; 陈云锋; 谢锋; 龚杰洪; 季惠明薄膜热电偶铂铂铑溅射贵金属快速响应热处理动态响应
摘要：为满足高端武器装备壁面快速测温的需要,研制一种贵金属铂-铂铑快速响应薄膜热电偶。利用离子束溅射沉积钽过渡层、铂-铂铑敏感功能层和氧化铝保护层,以光刻掩膜形成热电偶图形,再采用铂浆烧结引线和釉料封接,制备出热电偶样件,最终对样件进行微观分析、静态标定和动态标定。实验结果表明热电偶的静态温度性能与标准R型热电偶测试曲线吻合度较高,薄膜热电偶的动态响应时间可达到50ms量级,薄膜热电偶在600-1200℃范围精度约0.9%。所研制的快速响应贵金属薄膜热电偶具有快速响应和高精度高温测试等特点,可解决武器装备壁面高温快速测量的问题。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
