作者：康忠平; 江坚; 张斌; 张剑峰; 卢玉荣; 王...杂质浓度产能提升单面扩散减少时间
摘要：通过对现有单面扩散工艺的分析论证，提出了一种可在进出舟、氧化、预扩散、再分布、降温等步骤上缩短单面扩散工艺时间的方法，时间可缩短19min，产能可提高21．8％。
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《太阳能》（CN：11-1660/TK）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《太阳能》主要介绍我国新能源政策、普及太阳能知识、交流太阳能科技成果，是太阳能科技人员和爱好者的理想读物。
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