测量滤波器半导体薄膜等离子体检测薄膜材料红外反射光谱生长参数直接测量光伏技术公式拟合
摘要：半导体薄膜等离子体滤波器的检测方法属于热光伏技术领域。检测方法具体为：1）测量滤波器材料的带隙以下的红外反射光谱；2）用理论反射率公式拟合实验结果，得到滤波器的实际参数；3）通过这些参数和理论公式计算其透射率以及吸收率，以全面地检验滤波器的性能；4）对滤波器材料的生长参数进行筛选优化。本发明具有实质性特点和显著进步，由于薄膜材料是生长在衬底上或者是集成在热光伏器件中，薄膜层的反射率可以直接测量，而其透射率是不能直接测量的，因此本发明解决的主要问题是，既可以得到可靠的薄膜参数，又可以得到不能直接测量的滤波器性质。通过对滤波器性能的全面检测，可以对滤波器材料的生长参数进行筛选优化。
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