作者：范方贵微机电系统集成设计关键技术
摘要：微机电系统是一个独立的智能系统,以微电子技术为基础,融合了光刻、腐蚀、硅微加工等技术。目前,在微电系统设计中还存在多学科交叉问题以及设计周期较长的问题,影响了微机电系统的设计效率。笔者阐述了微机电系统的研究背景,并介绍了微机电系统的相关内容,总结了微机电系统设计过程中的关键技术。
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《通信电源技术》（CN：42-1380/TN）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《通信电源技术》紧跟世界通信电源技术发展潮流，结合科研生产实践，及时报导国内外通信电源领域最新应用成果，推广介绍新技术、新产品。
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