作者:赵勇彪spc技术参数采集控制图
摘要:在晶圆制造的氧化扩散阶段,主要使用立式炉管来制备氧化物,本文简要说明了机台参数的采集过程,着重结合SPC技术分析了机台过程参数的控制流程和控制图的判读方法,并对采用该技术后的效益和应该注意的问题作了说明.
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《铜陵学院学报》(双月刊)创刊于1999年,由安徽省教育厅主管,铜陵学院主办,CN刊号为:34-1258/Z,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《铜陵学院学报》坚持以邓小平理论、“三个代表”和科学发展观重要思想为指导,遵循“双百”方针,弘扬科学精神,实事求是,与时俱进;立足本院,面向全国,突出财经特色,融经、管、文、工、教等于一体的多学科全面发展,力求体现学院科研的最高水平,服务于高校科研与教学,服务于经济建设与社会发展,提倡理论联系实际、不断探索、勇于创新的文风,引导并促进学术理论研究健康发展。
省级期刊
人气 536448 评论 49
人气 400561 评论 51
人气 383458 评论 44
人气 363496 评论 56