作者：阎兵; 田延岭; 张大卫微定位工作台弹性铰链压电陶瓷非线性pid
摘要：为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响,采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制.利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号,提高了控制系统的鲁棒性.通过计算机仿真,验证了所设计的微定位工作台的特性和闭环控制算法的有效性.
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