高能CO2激光腔镜高反介质薄膜的传输特性

作者：彭玉峰; 程祖海; 崔金玲; 张毅; 张虎; 余...二氧化碳激光器反射镜介质薄膜

摘要：为了获得适用于高能CO2激光器的高抗破坏阈值高反薄膜，以10．6μm高反膜ZnSe／YbF3，PbTe／BaF2膜系为例，数值模拟了激光在高反介质膜中的传输的场特性；给出了激光在多层介质膜中的场强分布、温度场分布及热应力分布。结果表明硅镜基体上的PbTe／BaF2膜系所需膜层厚度小、膜层数少，反射率可高达99．98％。

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