作者：白浩; 王平; 张晶石英太赫兹微带电路薄膜工艺
摘要：随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹频段,常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出,石英基材将成为星载微波电路板的首选。但由于石英基材自身的特点以及高频段应用的特殊要求,石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟。文章通过对石英基板材料特性、工艺流程、关键工艺技术进行分析,提出了电路制作应注意的技术要领,以及工艺难点的解决方法。
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《太赫兹科学与电子信息学报》（CN：51-1746/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《太赫兹科学与电子信息学报》刊登的主要内容包括太赫兹科学技术、探测制导、测控通信与电子对抗、电磁场与微波、信号与信息处理、计算机与控制、微电子、微系统与物理电子学等、太赫兹科学技术包括太赫兹产生、放大、传输、检测等理论与技术，以及太赫兹在光谱学、通信、雷达、成像、材料检测、天文学、空间科学、生物医学等领域的应用技术等。
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