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MEMS开关供电线及过孔对微带贴片天线性能的影响

作者:李林翠 杨春 李相森 王军微电子机械系统开关直流供电线接地过孔

摘要:采用数值分析研究了微电子机械系统(MEMS)开关直流供电线及接地过孔对微带贴片天线性能的影响。研究表明,当MEMS开关应用于天线辐射部分时,MEMS开关的直流供电线和接地过孔对天线的匹配频带有较大影响,而且金属过孔的影响较直流供电线的影响更大。因此若采用金属条等效MEMS开关研究可重构天线时,应适当调整微带贴片天线的电尺寸,以求仿真结果更加逼近实测结果。

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太赫兹科学与电子信息学报

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