作者:王仲楠; 王武义; Derek; G.Chetwynd; 张...测试系统微动磨损刚度标定低频往复摆动
摘要:针对通用于一般机构和微、纳机电系统(MEMS/NEMS)的微动磨损测试,新研制了低频往复式微动磨损测试系统。采用微压痕式直接标定方法,首先标定垂直、侧向加载测试的传感器灵敏度,再用标定的传感器进行了电磁加载微测量头装置的机构刚度标定。实验结果表明:垂直、侧向分别加载得到的机构刚度值偏差小,电磁加载微测量头装置可靠性、实验一致性好。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社