静电驱动微机械梳状陀螺仪中典型结构的可靠性研究

作者：刘凤丽; 郝永平; 高连兴可靠性微机械陀螺仪典型结构mems

摘要：以经过结构参数优化后的微机械陀螺仪为研究对象，针对其梳齿驱动器、悬臂梁和平行板电容器这三种典型结构，分析了影响其结构可靠性的因素，验证了梳齿驱动器结构参数满足了稳定性要求；得到了感测平行板电容器的临界电压，讨论了平行板的弯曲变形的影响；为保证悬臂梁的可靠性，限定了陀螺仪的工作量程。

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