电子元器件涂料含氟化合物business等离子处理电子产品美国专利气体混合物
摘要：一种应用于电子产品的保形涂料及其制备：US2016230044[美国专利公开]／美国：International Business Machines Corporation（Boday，Dylan J．）．-2016．08．11． 涉及了一种含氟聚硅氧烷保形涂料及对电子产品组件的涂装方法。例如，将上述保形涂料涂覆于电子产品组件表面，然后置于等离子处理区，并确保处理区内不含氧气，无其他污染物，且保持干燥；将含氟化合物置于射频区，形成激发态含氟气体混合物，然后将涂覆的基材置于其中，并采用等离子处理，形成含氟涂层的涂饰件。
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