作者：王玉鹏; 樊艳梅; 孙亚洲扫描电镜能谱仪涂层分析前处理方法低加速电压快速扫描低真空背散射电子
摘要：涂层体现了涂料的所有功能,但由于涂层很薄且为多层结构,给物化分析带来很大难度。扫描电镜（SEM）可以分析微区形貌,能谱仪能够分析各个涂层和特征区域的元素,二者结合在涂层分析中具有无可比拟的优势。涂层是非导电性材料,同时常规的镀膜处理又可能会掩盖涂层的细节,本文选用不同的前处理方法,结合其他影响因素就扫描电镜能谱仪对涂层的分析进行了系统地研究。
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