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元素有机聚合物及其涂料

元素有机聚合物涂料组合物聚硅氧烷组合物硅氧烷树脂半导体装置防虫方法外力作用防反射

摘要:用于半导体装置的防反射涂料组合物的倍半硅氧烷树脂;防虫方法及所用聚硅氧烷组合物;具有好的使用性和防污性的甲基硅氮烷聚合物或低聚物涂料;基材在外力作用下形变后恢复性好的涂料;

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涂层与防护

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