作者：付兴华; 傅正义; 丁碧妍; 单连伟; 韦其红...basr性能影响薄膜结构sbt相对介电常数阻抗分析仪结构与性能钙钛矿结构测试方法测试频率介质损耗频率范围频散特性薄膜表面平均粒径条纹间距晶粒取向semxrdtem温度点矿物相晶界
摘要：本文采用HPAgilent4294A阻抗分析仪、SEM、XRD、TEM等测试方法研究了不同Sr/Ba比对Sr1-xBaxTiO3(SBT)薄膜结构与性能的影响.在同一测试频率下,当Sr/Ba比为0.5时,薄膜的相对介电常数εr最大,介质损耗tan δ相对较小,最大εr温度点Tm为305K;在所测试的频率范围内,εr随频率的升高而降低,tan δ则相反,表现出较好的频散特性.薄膜的矿物相为四方钙钛矿结构.Sr/Ba比为0.5时,薄膜表面无裂纹,孔洞少,颗粒集聚较少,其平均粒径均为80nm,分布均匀;晶格条纹间距约为2.96A,晶界两侧的晶粒取向是随机的.
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