溅射SiOx薄膜氧含量与红外特性关系研究

作者：王慧; 刘静反应溅射法sio2薄膜xpsftir

摘要：用反应溅射法制成了SiOx-薄膜，研究其傅立叶变换红外吸收光谱图特性。Si-O-Si键的伸缩振动吸收峰和弯曲振动吸收峰分别位于1100cm^-1和600cm^-1附近。结合XPS定量测试结果讨论了吸收峰与薄膜中氧含量的关系，目的用FTIR非破坏性快速方便预测SiOx薄膜的化学配比。

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