作者：蒋建纯; 周九宁; 浦保健; 黄伯云硅晶体生长坩埚多晶硅用直拉法cz磁场直拉法mcz单晶硅半导体
摘要：多晶硅用直拉法(CZ)或磁场直拉法(MCZ)拉制成单晶硅棒.晶体生长炉热场零件中的石墨发热体、坩埚等在机械应力和热应力的综合作用下发生变形或损坏造成失效,更换频繁.选用纯度高的炭纤维制成待制件的多孔坯体,经过增密、纯化处理制成炭/炭复合材料坩埚.试制的两体12＂炭/炭复合材料坩埚进行了工业性试验.炭/炭复合材料机械强度高、耐热冲击性能和化学稳定性好,其使用寿命大大高于高纯石墨坩埚.两体的连接止口的氧化侵蚀限制了坩埚的使用寿命.单晶硅设备的大型化、炭/炭复合材料势必成为晶体生长炉热场零件的必选材料.
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