作者：赵升升电弧离子镀n2分压
摘要：采用电弧离子镀工艺，调节N2分压制备了系列（Ti，A1）N硬质涂层，研究了不同N2分压对涂层表面形貌、相结构、成分及力争性能的影响．结果表明，当氮气分压较低时，涂层金属相含量较高，涂层硬度和残余应力较低，膜／基结合力较高，涂层耐磨性较差；当氮气分压较高时，涂层氮化物相含量较高，涂层硬度和残余应力较高，膜／基结合力偏低，涂层耐磨性很强．
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