高阻隔陶瓷薄膜包装材料的研究进展及关键技术

作者：孙智慧; 刘壮; 智慧; 林晶高阻隔陶瓷薄膜磁控溅射

摘要：本文总结了高阻隔陶瓷薄膜包装材料制造技术的发展进程,介绍了各种镀膜方法及特点;系统综述了国内外AlOx、SiOx薄膜的研究进展与应用现状,分析了陶瓷薄膜包装材料制造过程中影响阻隔性能的主要因素,研究了提高薄膜阻隔性的基本措施,由此展望了高阻隔陶瓷薄膜包装材料发展及应用前景。

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