作者：徐克非; 朱鸿; 孙智慧; 林晶; 刘壮磁控溅射氧化铝薄膜阻隔性
摘要：采用直流反应磁控溅射工艺，进行了一系列在PET塑料薄膜表面沉积氧化铝的实验，研究了氩气（Ar）、氧气（O2）和溅射功率对所制备的Al2O3薄膜透氧率和透湿率的影响。实验表明，当氩气流量为90sccm、氧气流量为10sccm、溅射功率为600W时，Al2O3薄膜的透氧率为2．11cm^3／（m^2×arm×24h），透湿率为0．58g／（m^2×atm×24h），此时薄膜阻隔性能最好。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
