石墨烯薄膜的化学气相法制备及光、电特性研究

作者：祖丰硕; 王滩; 石岩; 朱峰; 丁澜; 张浩; ...石墨烯化学气相沉积电子迁移率光透过率

摘要：利用化学气相沉积方法制备了石墨烯薄膜,并研究了其光电特性。以乙醇做反应原料、氩气作为携载气体,在873 K、973 K、1 073 K的温度下合成石墨烯薄膜。应用光学显微镜观察,发现在1 073 K时能够制备大面积均匀、平整光滑的石墨烯薄膜。纳曼光谱分析结果表明：制备的石墨烯薄膜出现2 650 cm^-1的石墨烯的特征峰-D强峰,同时该峰强度随温度的升高而迅速增强,说明低温不能使沉积的碳原子有效的石墨化为石墨烯,而较高的温度有助于乙醇分解并石墨化为石墨烯薄膜。在1 073 K时沉积的石墨烯薄膜具有良好的光、电特性,其电子迁移率可以达到104 cm^2.（V·s）^-1,光透射率达97%,因此,可用于制备石墨烯晶体管、太阳能电池等光电子器件。

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