作者：孙宝云; 马炳和; 邓进军; 姜澄宇mems热敏壁面剪应力微传感器测试技术
摘要：基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状，重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度，对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。
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《实验流体力学》（CN：11-5266/V）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《实验流体力学》被《中国科学引文数据库》、《中国学术期刊综合评价数据库》、《中国学术期刊文摘》、《中国力学文摘》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊网》及《万方数据系统科技期刊群》收录。国外被美国化学文摘《CA》、俄罗斯文摘杂志《Pж》。
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