透明电极薄膜的制备及其电阻率测量普通物理实验

作者：邱宏; 吴平; 李腾飞; 潘礼庆; 赵雪丹; 田...透明电极薄膜直流溅射四探针技术电阻率普通物理实验

摘要：介绍了如何把“透明电极薄膜的制备及其电阻率测量”的实验引入到普通物理实验教学中，用简单的直流溅射镀膜仪制备不同厚度的金属氧化物透明电极薄膜（ZnO：Al薄膜），并用四探针测量了它们的电阻率。该实验是对已经在北京科技大学国家工科物理基础课程教学基地开设的大学生普通物理实验内容的新扩充。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社