感光聚酰亚胺日本东丽公司中空结构密封材料开发薄膜材料加工技术密封配件
摘要：日本东丽公司开发出中空结构的新型感光聚酰亚胺密封黏合薄膜材料。该材料可利用感光图案加工技术，在薄膜内形成微细的中空结构，与以往利用金属板等密封配件的方法相比，可将产品的体积减少1／3。利用该技术可在半导体晶圆上的感光性黏合薄膜中统一形成大量的中空结构。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《石油化工》（CN：11-2361/TQ）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《石油化工》杂志刊登的文章具有新颖性、实用性、启发性和指导性，在读者中有广泛的影响，被选为中文优秀期刊和中国石化集团公司优秀期刊。
部级期刊
人气 181634 评论 69
人气 148803 评论 72
省级期刊
人气 147791 评论 73
北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊
人气 89746 评论 68
