作者：王丹; 董再励; 孙茂相; 刘峰位置敏感器件定位误差非线性补偿算法归一化模型psd误差补偿模型空间定位光电位置敏感器件输出信号误差补偿方法3d测量
摘要：PSD是一种高分辨率、实时性好的光电位置敏感器件,因而具有广泛应用的前景.但在光照度变化条件下,输出信号存在非线性飘移,因而影响了作为位置检测传感器的检测精度,尤其在3D测量时适用性受到了限制.针对这个问题,提出了一种PSD位置传感器的非线性误差补偿方法.该方法针对目标的空间距离变化所产生的PSD输出非线性飘移,采用归一化模型进行误差修正,很大程度上改进了PSD的输出一致性,使基于PSD的3D测量系统性能得以提高.
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