作者：赵一宇; 李红浪; 程利娜; 柯亚兵; 郭霄鹏...声表面波传感器压力温度解耦分析硅酸镓镧计算结果saw传感器解耦方法实验测试
摘要：针对硅酸镓镧声表面波压力传感器,提出了一种温度和压力的多参数解耦方法。理论上采用有限元方法与微扰理论结合,计算传感器在不同温度、压力下频率响应。根据计算结果,构造出传感器温度与压力的解耦公式。以一种基于LGS（0°,0°,100°）点压力式SAW传感器为例,理论计算得到其温度与压力解耦公式的具体参数,同时与在-55℃-125℃,0-1 MPa范围内的实验测试结果对比。理论分析和实验测试结果基本吻合,验证了温度压力多参量解耦方法的正确性。
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