作者：王文 侯娇丽 刘明华 何世堂love波气体传感器器件波导温度特性零温度系数应用频率温度系数
摘要：为获得趋于零温度系数的多波导层Love波器件结构参数，对Love波器件的温度稳定性进行了研究。首先构建了这种多波导层条件下Love波传播特性的理论模型，即根据层状结构声波传播方程和边界条件推导出Love波的色散方程，再结合色散方程和Tomar的方法，成功提取出趋于零温度系数的Love器件结构参数，并通过实验验证了理论计算结果，实验测试得到的基于ST-90°X石英且采用SU-8与SiO2双波导层的Love波延迟线器件的频率温度系数（tcf）仅为2．16ppm／℃。优化后的器件具有很好的实际意义。
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