作者:李燕高纯多晶硅改良西门子硅烷法流化床法金属还原法冶金方法
摘要:论述了当前生产高纯多晶硅的方法,对一些方法进行了比较分析。高纯多晶硅生产方法主流是改良西门子技术。分析了新技术的发展状况,得出结论,冶金方法将不断成熟;在环境污染情况下,新硅烷方法将得到发展。
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《山西化工》(CN:14-1109/TQ)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《山西化工》主要报道行业内科技发展最新动态及研究、开发、生产、应用的最新成果和经济技术信息,具有内容丰富、信息量大、实用性强、宣传效果好等特点。荣获2002年度山西省一级期刊;2003年度山西省一级期刊。
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