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刻蚀下料翻转机构的改进与优化设计

作者:折飞; 薛珺天翻转机构翻转杆优化返工率

摘要:现有下料翻转机构造成的碎片和返工片较多,影响设备稳定性。通过分析翻转机构,优化了翻转杆结构,确定了翻转杆的精确尺寸。优化后的翻转机构相对于未优化前,硅片返工率有了大幅度的降低,节约了企业成本,提高了设备产能以及设备稳定性,为后续设备的运用提供了良好的借鉴。

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山西电子技术

《山西电子技术》(CN:14-1214/TN)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《山西电子技术》主要刊登电子信息领域具有创新性的研究、技术应用论文及技术研究进展的综述。主要读者对象是从事与电子信息技术研究、应用有关的广大科技工作者和高等院校师生。

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