作者：冯春鹏; 赵智增多铁性材料mems压力传感器性能测试磁场可控
摘要：针对近年来对微传感器测试研究的发展需求,设计一种基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试系统,该性能测试装置由3个部分组成：压力容器泵体、测试接口电路和温度磁场调控系统。对实验室设计制作出的多铁纳米MEMS压力传感器,利用该测试装置在温度可调、磁场可控的条件下进行传感器性能参数的测试。实验结果初步表明,该方案设计出的基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试装置是切实可用的,为以后更具体的测试工作提供理论参考和实验依据。
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