作者：李春甫三氯化铁腐蚀现象半蚀刻技术导电碳浆光致抗蚀剂
摘要：一、腐蚀和蚀刻 早在上个世纪的60年代,我在标牌车间参加生产劳动时经常听到师傅们用"腐蚀"这个词,意思是当图形掩膜制出后再在三氯化铁溶液中将露金属的部分蚀刻出一定的深度.但是在金属板面的前处理中也经常用"腐蚀"一词,他们把板面前处理(去油→浸碱→水洗→浸酸→水洗)都称之为腐蚀.显然这两种叫法都是不准确的.
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