作者：苑国良微机电技术系统发展微机电系统纳米加工技术精密机械微型传感器微型执行器纳米传感器可靠性水平
摘要：微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电系统(MEMS:Micro Electro Mechanical System).它将微电子、微米/纳米加工技术、精密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统.其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,完成大尺寸机电系统所不能完成的任务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平.
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《世界制造技术与装备市场》（CN：11-5137/TH）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《世界制造技术与装备市场》适应机械制造业多层次需要，面向各行业广大用户，面向世界经济和市场国际化，发挥本刊参与国际交流活动和合作的广泛优势，不仅是世界四大国际机床展之一的中国国际机床展（CIMT）的指定宣传媒体，而且参加欧洲EMO，美国IMTS，日本JIMTOF和意大利米兰，新加坡等区域大展，并与德、日、美、意、中国香港特区等的出版界有国际和...
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