作者：李有观二硅化钨靶材纯度布线材料300mm金属杂质二硅化钼高温处理氧化钽
摘要：日本一家冶金公司研制出一种纯度为6N的钨靶材，其直径为300mm，其中钠和钾的含量各低于10×10^-9，铁、镍、铬、铜、铝的含量各低于200×10^-9，铀和钍的含量低于0．2×10^-9，氧低于80×10^-6，金属杂质总量低于1×10^-6。这种材料经高温处理后具有良好的耐热性和与氧化钽的相容性．可取代二硅化钼和二硅化钨作为布线材料。
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