中电网线性加速度在线温度漂移非正交性测量精度mems非线性
摘要：答：影响MEMS测量精度的因素有很多，比如噪声，温度漂移，非线性，非正交性，振动、冲击、线性加速度影响等。噪声可以采用多颗芯片平均的办法来降低，温度漂移、非线性、非正交性等可以通过软件矫正，一般用户最难控制的是振动、冲击、线性加速度的影响，所以在选型时一定要注意linear acceleration effortonbias这个指标，因为这些影响主要是靠器件本身的设计采保证的。
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