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原子力显微镜放大倍率校准的探讨

作者:盛克平; 丁听生原子力显微镜放大倍率校准标准物质置信水平

摘要:本文通过各种标准物质样品在原子力显微镜上的实验性测试,对涉及原子力显微镜放大倍率校准的相关的标准物质、图像非线性、图像畸变、针尖效应的问题进行了探讨,并认为原子力显微镜在针尖效应还没有解决前,进行带有一定置信水平的不确定度的放大倍率校准还尚难实施.

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上海计量测试

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