美国斯坦福大学剥离工艺纳米电路开发可重复使用研究人员任意形状硅晶圆
摘要：美国斯坦福大学（Stanforduniversity）的研究人员最近开发出一种创新的晶圆等级（Wafer-scale）剥离（Lift—off）工艺，能在可重复使用的硅晶圆上制作纳米线电路，然后将之移植到任意形状的、采用任何一种材料的衬底上。
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《上海化工》（CN：31-1487/TQ）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《上海化工》综合性化工科技情报刊物。旨在传递化工科技情报，推广先进经验，进行技术交流，推动四化建设。获奖情况：2002年“全石油和化工行业优秀期刊一等奖”2002年获得“华东地区优秀期刊”奖。
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