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硅波导中近红外激光的热效应

作者:叶筱康 王明霞 朱鹏飞 陆乐 唐陈雷 严查 ...近红外激光热效应硅片双面金属波导

摘要:基于厚度达到毫米量级的双面金属包覆波导,采用波长为1550nm的近红外激光入射到该波导金属耦合层上,激发波导中的超高阶导模后,通过定点观测反射光强度的振荡变化,研究近红外激光在硅片产生的热效应.研究表明,耦合进波导的近红外激光被吸收,热效应导致硅片的折射率改变,激光热效应作用随激光功率增大而增强,并且激光热效应在50%工作点时作用最明显.

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上海工程技术大学学报

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